至纯科技董秘回复： 大宗气体是用空分设备将空气中的氮气、氢气、氧氩氟化氢等提取出来

  至纯科技(603690)09月08日在出资者联络平台上答复了出资者关怀的问题。

  出资者：贵公司建有大宗气站且现已继续安稳供给1.5年，请问贵公司的大宗气体应用于半导体制作的哪个环节？在半导体制作中所用到的电子特气和贵公司的大宗气体是否归于同一概念或同类型气体？

  至纯科技董秘：您好，大宗气体是用空分设备将空气中的氮气、氢气、氧气、氩气、氟化氢等提取出来，通过高纯工艺体系处理后进入晶圆制作产线，是晶圆厂出产制作全过程均需使用到的介质，电子特气品种相对更多，具有特别的化学性质如腐蚀性等，也是半导体范畴出产中必不可少的介质。

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