半导体行业废气排放在线监测系统中PID光离子气体传感器的应用

  随着信息时代的推进，半导体行业正在迅猛发展，为社会带来了显著的经济效益与就业机会。然而，这一行业的加快速度进行发展也伴随着对大气的污染问题。由于半导体行业对操作室的清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，这使得半导体行业废气具有排放量大、排放浓度小的特点。

  这些废气最重要的包含有机废气和酸碱废气两类。其中，有机废气包括非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；酸碱废气则包括氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。这些废气的来源主要是在芯片或线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中产生的。

  这些废气不仅对环境能够造成污染，而且对人们的健康也构成威胁。在半导体制作的完整过程中，元器件组装焊接、电路板等器件清洗等表面处理过程中使用的化学药剂，如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有机卤化物，会挥发成为污染气体，如果这些气体超标排放，有几率会使人群慢性或急性中毒。

  为应对这一问题，我们应该对废气进行实时精准的检测。一种解决方案是采用集成废气检测系统，它可以实时采集和检测废气的浓度等参数，一经发现超标排放，能够迅速预警。此外，结合网格化管理，能轻松实现企业废气检测与监管的高效联动。这种系统大范围的应用于半导体制造、涂装流水线、生物制药、化工企业废气处理等领域。其监测项目最重要的包含非甲烷总烃监测、砷烷监测、酸雾、硫化物、NOX、颗粒物监测、氨气监测等。

  在检测原理方面，主要有PID光离子检测的新方法和电化学检测的新方法两种。PID光离子气体传感器采用光离子电离气体原理进行气体检测，适用于混合气体中挥发性有机物总含量的测定。而电化学传感器则是通过与被测气体发生反应并产生与气体浓度成正比的电信号来进行工作。

  在设备选型方面，对于工艺排口的有机废气排口(包括VOC治理排口)，推荐使用PID在线监测设备；对于无机废气排口，建议使用烟气在线监测设备；而对于非工艺排口，如呼吸阀、实验室排放口、储罐呼吸孔等，则可选用电化学传感器监测设备。

  工采网代理的英国Alphasense光离子传感器PID和电化学气体传感器是针对半导体制造业有毒废气监测应用的专业级传感器产品，传感器具有灵敏度较高，选择性好，稳定性高，浓度输出线性好等优点，可长时间稳定持续监测，可大幅度的降低半导体制造业毒气监测成本，实现大范围安装应用，为半导体制造业毒气监测提供了切实可行的安全生产监测解决方案。

  Alphasense光离子传感器PID是针对挥发性有机物的检测和测量而设计的一款小型气体传感器，它适用于制造业、加工业这类典型的挥发性有机物高危场所以及环保监测。

  传感器采用PID检测技术对气体环境中的VOCs浓度进行仔细的检测，检测结果更准确。传感器量程选择多，高灵敏度，常规使用的寿命更长，且体积小巧，便于与各类气体测量模组与扩展板集成，在气体检测仪制作设计方面有较大的使用空间。

  在执行标准方面，应遵循一系列国家和行业标准。这些标准涵盖了爆炸性气体环境电气设备的要求、危险场所电气安装规范、有毒气体检测报警设计标准、作业场所环境气体检测报警仪通用技术方面的要求等多个角度。此外，还应遵循大气污染物综合排放标准和固定污染源排放烟气连续监测系统技术方面的要求及检测的新方法等规定。

  总的来说，半导体行业的废弃净化处理是一个复杂而重要的议题。通过使用先进的检测技术和设备，以及严格遵守有关标准和规定，我们大家可以有实际效果的减少废气对环境和健康的负面影响，推动半导体行业的可持续发展。

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